膜厚測量用多通道光譜儀MCPD系列

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光譜儀（MCPD-9800/MCPD-3700/MCPD-7700）

提供豐富選配套件以及客制化光纖，

可依據安裝現場需求評估設計，是一套可靈活架設于各種環境下的即時測量系統

 

 

 

 

 

 

 

 

分光光譜儀種類

• MCPD-9800：高動態范圍分光

• MCPD-6800：紫外/可見/近紅外光分光光譜儀

• MCPD-7700：高感度分光

膜厚測量

半導體晶圓膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）光阻剝離液厚度、濕狀薄膜涂布膜（Coating膜、蒸鍍膜、接著劑、亞克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭）樹脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、機能性薄膜、包裝膜

膜厚測量(分光光譜儀 + 顯微鏡)

 半導體晶圓膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）光阻剝離液厚度、濕狀薄膜塗布膜（Coating膜、蒸鍍膜、接著劑、亞克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭）樹脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、機能性薄膜、包裝膜。

影印機感光鼓膜厚度量測

半導體晶圓膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）光阻剝離液厚度、濕狀薄膜塗布膜（Coating膜、蒸鍍膜、接著劑、亞克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭）樹脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、機能能性薄膜、包裝膜

LB膜測量

 

蒸餾膜測量

多點膜厚測量

• 半導體晶圓膜（氧化膜、氮化膜、光阻膜）

• 光阻剝離液厚度、濕狀薄膜

• 塗布膜（Coating膜、蒸鍍膜、接著劑、亞克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭）

• 樹脂膜（PET、PP、PE、PC、Nylon）、機能能性薄膜、包裝膜