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UV曝光裝置
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紫外可見光光度計(jì)
日本MIKASA顯影裝置株式會(huì)社光刻膠專用儀器設(shè)備！
日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后，晶圓涂抹提供一站式服務(wù)。
日本Mikasa 半導(dǎo)體用設(shè)備 旋涂機(jī)
MS-B100，MS-B150，MS-B200，MS-B300，MS-B200
日本Mikasa密閉型MS-B300
密閉型MA-20，MA-10B，MA-60F，M-2LF，M-1S，AD-1200，AD-3000，ED-1200，
日本Mikasa腔室不銹鋼 轉(zhuǎn)數(shù) 0～3,000rpm電路板尺寸φ1英寸~φ12英寸（220×220mm） 聯(lián)鎖 真空吸附確認(rèn)傳感器處理室蓋聯(lián)鎖吸嘴移動(dòng)超限限位器化學(xué)壓力輸送壓力罐壓力進(jìn)給藥液噴出噴霧噴射（擺動(dòng)噴嘴類型） 電源 AC200V 3 相 15A尺寸 （mm）打開門時(shí) 720W×500H×520D910H步驟數(shù)48 步跳過(guò)和復(fù)制功能程序模式 10 種模式 重量 60㎏流程（標(biāo)準(zhǔn)） 顯影液：1系統(tǒng)（2個(gè)噴嘴）沖洗：1個(gè)系統(tǒng)（2個(gè)噴嘴）后沖洗：1個(gè)系統(tǒng) 主要選項(xiàng) 化學(xué)溫度管理系統(tǒng)（加壓系統(tǒng)）各種基板支架安裝工作臺(tái)使用的化學(xué)溶液 堿性顯影液
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勻膠機(jī)操作說(shuō)明書
使用勻膠機(jī)旋涂微流控SU-8光刻膠
勻膠機(jī)的工作原理
影響勻膠機(jī)旋涂?jī)x性能和厚度參數(shù)
3. 勻膠機(jī)操作注意事項(xiàng)
勻膠機(jī)旋涂注意事項(xiàng)
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勻膠機(jī)旋涂?jī)x工作原理以及勻膠工藝常見問題
勻膠機(jī)使用注意事項(xiàng)及維護(hù)清洗
