samco inc. - サムコ株式會(huì)社

samco inc. - サムコ株式會(huì)社以“用薄膜技術(shù)為世界產(chǎn)業(yè)科學(xué)做出貢獻(xiàn)”為經(jīng)營(yíng)理念，以重視創(chuàng)造性、采用直銷體制、積極認(rèn)識(shí)事業(yè)在社會(huì)中發(fā)揮的作用為經(jīng)營(yíng)方針，開(kāi)展事業(yè)。

以化合物半導(dǎo)體為中心的光電子領(lǐng)域、高頻器件領(lǐng)域、電子零件領(lǐng)域?yàn)橹行模M(jìn)一步擴(kuò)大面向生產(chǎn)用途的裝置的銷售，向以中國(guó)市場(chǎng)為首的海外市場(chǎng)積極展開(kāi)。

在京都的研究開(kāi)發(fā)中心和美國(guó)硅谷的奧普托菲爾姆斯研究所進(jìn)行研究開(kāi)發(fā)。其中，我們將盡快啟動(dòng)與薄膜事業(yè)相關(guān)的新事業(yè)、新領(lǐng)域，為社會(huì)做出貢獻(xiàn)。

samco inc. - サムコ株式會(huì)社半導(dǎo)體制造裝置入門(mén)


什么是半導(dǎo)體

所謂化合物半導(dǎo)體

二極管

晶體管，晶體管

集成電路

節(jié)能貢獻(xiàn)

半導(dǎo)體制造裝置

關(guān)于裝置

所謂半導(dǎo)體制造裝置

什么是CVD裝置

所謂干蝕刻裝置

所謂干洗裝置

高性能化等離子清潔器

什么是真空

了解真空

真空的必要性

真空測(cè)量

真空容器從大氣受到力

真空壓力與氣體容積的關(guān)系

什么是等離子體

什么是等離子體

身邊的等離子

將等離子體運(yùn)用于技術(shù)

請(qǐng)看用武士制造的半導(dǎo)體制造裝置。

CVD裝置

進(jìn)行防水、絕緣等處理

干法刻蝕裝置

進(jìn)行精密的加工

干洗裝置

污染并清洗表面

Samco的ICP蝕刻系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)。

• 高蝕刻率
• 優(yōu)良的均勻性
• 優(yōu)異的基板直流偏壓和離子能量控制能力
• 通過(guò)ESC**控制晶圓溫度，從-10oC到+200oC。
• 廣泛的工藝庫(kù)

SiC功率器件、GaN射頻器件、MicroLEDs、激光二極管、GaAs VCSEL、SAW/BAW濾波器、電容器、MEMS器件等**技術(shù)，在未來(lái)的十年中被賦予了更多的期待。作為此類器件材料的化合物半導(dǎo)體的微細(xì)加工需要高精度的干式等離子體蝕刻工藝。Samco先進(jìn)的電感耦合等離子體(ICP)蝕刻系統(tǒng)非常熟悉化合物半導(dǎo)體器件的加工。ICP蝕刻系統(tǒng)的等離子體密度是傳統(tǒng)的電容耦合等離子體反應(yīng)離子蝕刻（CCP-RIE）系統(tǒng)的1000倍。它們能夠?qū)崿F(xiàn)更廣泛的工藝。然而，要在ICP蝕刻系統(tǒng)中獲得均勻的等離子體并不容易。Samco公司開(kāi)發(fā)了具有三維結(jié)構(gòu)的ICP線圈 "Tornado ICP?"，它能夠形成高度均勻的等離子體。
為了提高Tornado ICP?的可靠性和性能，Samco進(jìn)行了電磁場(chǎng)模擬。通過(guò)這些模擬，我們找出了實(shí)現(xiàn)*佳均勻性的*佳配置。Tornado ICP?蝕刻系統(tǒng)不僅在化合物半導(dǎo)體上，而且在硅和金屬薄膜上也實(shí)現(xiàn)了高度均勻、高速、高長(zhǎng)寬比的蝕刻，被各行業(yè)的許多工廠和研究室所使用。