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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內の排気圧力コントロール
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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內の排気圧力コントロール
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１．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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１．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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１．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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１．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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AP250とAP500は半導體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構成されています。 さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內部圧力を調整し、外郭圧力が任意の設
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AP250とAP500は半導體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構成されています。 さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內部圧力を調整し、外郭圧力が任意の設定圧力値と一致するように自動制御します。 また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です。 *大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、*大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です。 圧力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相當品または3／4"VCR相當品に対応しています。真空中での使用なら相當品導體用
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內の高速制御可能 4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內の高速制御可能 4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內の高速制御可能 4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內の高速制御可能 4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
